PA200 BlueRay™ 可实现光电（如 LED）、MEMS（比如压力传感器）和 RF（例如 SAW/BAW 滤波器）器件的高吞吐量功能测试。其精度可确保平稳的探针降落，具有安全、可重复的电接触。PA200 BlueRay 专为实现每天 24 小时、每周 7 天的不间断运行而设计，可现场升级晶圆传送机械。

产品特性

	高吞吐量 Die到Die之间的步进时间小于100ms 多Die测量技术可实现20 Dies/s(70,000 Dies/h)的测量速率能更快地获得测量数据

	Z 轴准确度在所有生产型探针中具有最高的 Z 轴分辨率独特的 Z 轴剖析功能即使是高度方面的极端变化（比如，晶圆发生扭曲的场合）也可予以补偿最大限度减小Pad上划痕提升良率

	高效益极小的占地面积配有与主流分析仪表、软件和测试机的通讯接口低拥有成本投资回报快

	双面测试选项背面仪表，例如，积分球、光纤设置、压力模块可接触被测器件 (DUT) 和正面和反面高度准确的光测量

Velox 探针台控制软件以用户为中心的设计最大程度地减少了培训成本并提高了效率全面的对齐功能–从简单的晶圆图建立和对齐到先进的自动探针与pad对位为经验不足的用户简化操作流程：工作流程指南和精简的用户图形界面帮助降低培训成本 VeloxPro选件：符合SEMI E95的测试执行软件，可简化操作和整个晶圆测试周期的安全自动测量。

	可升级至全自动化系统（选项）现场升级晶圆传送装置实现7X24小时不间断、全自动作业